二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #122705 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE是一種擴散爐和附件，旨在促進先進的熱過程，並具有固結的工藝室和運輸能力。其設計支持一系列應用，包括Power-MOS、專用電源設備、BiCMOS以及高溫封裝。TEL ALPHA-8SE因其真空晶片傳輸設備而在擴散爐中脫穎而出，該設備允許晶片從層流隔離室轉移到擴散爐的工藝室中。這確保了擴散過程中最大的清潔和環境控制。轉移系統也使得操縱晶片更容易，而不必打開門或暴露於可能的汙染。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE還具有高性能和多功能數字過程控制器。該控制器可以精確控制擴散室中的溫度和壓力，並對復雜的過程進行編程。控制器可以以不同的速率掃描溫度和壓力，允許設置各種工藝參數，從基本參數到最復雜參數。TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE具有獨特的低壓反應氣體輸送功能，確保氣體反應物安全準確地輸送。這也確保擴散過程保持非常狹窄和均勻的輪廓，並且反應物在高壓下不會在樣品表面部分擴散。這使得TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-E先進熱處理的理想儀器。ALPHA-8 SE也喜歡集成控制單元。這臺機器允許用戶編程復雜的過程以及預設的溫度和壓力配置文件。此外，這一綜合控制工具還負責樣品監測、氣體監測、安全監測以及爐具的預防性維護和保養。這保證了TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-E擴散爐的最大效率和可靠性。由於它的設計和建造，阿爾法8SE擴散爐有能力以最小的汙染進行熱過程，並在高水平的重復性和可靠性。這使得它成為高級熱工藝和研究的理想選擇。此外，TEL ALPHA 8 SE將高精度溫度控制、高壓反應氣體輸送、靈活集成等特點與各種工藝工具獨樹一幟。