二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #122707 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE是一種先進的熱和化學加工設備，用於多種材料的多種行業。它是處理精密、精確度和可靠性最高的薄膜的最先進、最先進的系統之一。TEL ALPHA-8SE是一種擴散爐，設計用於提供使用晶圓級批處理工藝的多個基板的均勻處理。該系統還由其他幾個組件組成，這些組件為極其靈活和精確的薄膜沈積和等離子體蝕刻提供了多種選擇。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE擴散爐配有一個半導體加工室，該室配有紅外傳感器（IRS），可以檢測室內溫度變化。它配有許多不同的輔助配件，如S-FOC自動除膜裝置、高效的顆粒沈積機和射頻壓板。此外，這個工具還有額外的配方，可以保存，以便於編程和可重復的過程。高效、低溫沈積的資產允許更快、均勻的薄膜沈積。射頻壓板允許對大面積基板進行光滑、均勻的加工。TEL ALPHA 8 SE擴散爐利用動態氣體入口控制，有助於提高腔室的均勻性，減少加工時間。先進的控制技術確保了無論晶片類型和基材尺寸如何的一致處理。該型號還為晶片級批處理提供了出色的吞吐量，最多支持8個晶片，非常適合工業用途。除了擴散爐外，ALPHA 8 S E還包括多種配件，如兩個遠程風扇供電的基座機器人、一個可編程石英管沈積模塊、一個等離子體蝕刻模塊，以及多種其他工具和設備。這兩個遠程風扇供電的基座機器人有助於方便晶片加載,並提供無與倫比的傳輸可靠性和過程可重復性。可編程石英管模塊提供復雜材料和自由形狀剖面的均勻沈積。最後，等離子體蝕刻模塊有助於去除不需要的材料，提高工藝質量和均勻性。TEL ALPHA-8 SE擴散爐及其附屬配件提供了極其靈活、精確的薄膜沈積和等離子體蝕刻設備,可幫助各行業獲得更高效的工藝和更高質量的產品。該系統極其可靠，提供高精度處理，精度最高。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE能夠提供的可靠性、靈活性和準確性，使其成為熱和化學加工的最佳系統之一。