二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #144248 待售
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ID: 144248
LPCVD LP-BSG TEOS furnace, 8"
Flat / notch type: Notch
Signal tower: 3 color (RYG)
SMIF or I/O type: I/O type
AGV compatibility: Not use
Rapid cooling unit: Not use
Load lock system: Not use
Production wafer quantity: 150
Controller and software:
HD version: WAVES V3.11 R0008
HDD capacity: 4.3 GB
TEB 408-11 HDMC
SVA 031
TEB 107 ECS5
M/C TEB 205
TEB 103 FPIF
Configuration: Alpha-8SE
Power: (phase, voltage, frequency)
Heater power: 3 phase, 50/60 Hz 440V
Controller power: 1 phase, 50/60 Hz 100V
Pump power: 3 phase, 50/60 Hz 440V
MFC flow:
MFC1: STEC N2, 20 SLM
MFC2: STEC N2, 200 SCCM
MFC3: STEC TEOS, 300 SCCM
MFC4: STEC N2, 5 SLM
MFC5: SAM CLF3, 5 SLM
MFC6: STEC TMB, 300 SCCM
Heater model: VMM 40-101
Vacuum control: EBARA 150x40UERP6M-D
Controller specifications:
Main controller: WAVES
Temperature controller: Model 560A
Pressure controller: PCU1000 (PCV control)
Mecha controller: T-Bawl
Burn controller: None
MFC controller: None
Powered off
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE是一種先進的擴散爐和輔助設備，設計用於提供高質量的半導體制造。該系統由石英室、晶圓船、鐘形罐和將晶圓船置於腔內的耐熱自動提升組件組成。其石英室設計提供緊密耦合的熱能均勻性，而鐘形罐則允許超清潔的工作條件。自動提升組件可確保方便地進入石英室內的晶片船，並以最小的應力精確定位。TEL ALPHA-8SE爐還采用了先進的高耐用、厚膜加熱器。該加熱器可提供高達500瓦的功率和高達150瓦/平方厘米的退火能量。它還提供從25°C到1200°C的寬溫度範圍。通過其內置溫度控制單元實現了對熱的精確控制，其石墨敏感器確保了精確的均勻性。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE還配備了出色的環境控制能力。它與一系列環境空氣、幹燥空氣和其他氣體的工藝兼容，並具有無過濾器設計，以改善環境要求。此外，它擁有高純度的墻面和屋頂，低壓選項，以及其他先進的BPSG和化學氣相沈積能力。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE也帶有廣泛的操作特性。這包括一個集成了直觀操縱桿控制的電氣驅動機器，一個車載主可編程邏輯控制，以及一個觸摸屏數據輸入工具。此外，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-E具有先進的能效資產、獨立的溫度斜坡模型和增強的配方庫。總體而言，TOKYO ELECTRON ALPHA-8SE擴散爐及附件設備的設計旨在提供半導體器件的高質量制造，同時允許制造商保持高能效和環境兼容性。它的一系列特點和操作能力確保了精確的控制和優異的性能,並減少了化學廢物和操作成本。
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