二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #168532 待售
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已售出
ID: 168532
LPCVD furnace, 8"
Wafer size: 8"
Flat / notch type: Flat
Signal tower: 3 color (RYG)
SMIF or I/O type: I/O type
AGV compatibility: Not use
Rapid cooling unit: Not use
Load lock system: Use
Production wafer quantity: 150
Controller and software:
HD version: V3.11
HDD capacity: Waves V3.11 R0000
TEB 408-11 HDMC
SVA 011
TEB 107 ECS5
M/C TEB 205
TEB 103 FPIF
Power: (phase, voltage, frequency)
Heater power: 3 phase, 208V, 35.6 Kva
Controller power: 1 phase, 208V, 5.5 Kva
MFC flow:
MFC1: AREA TC FC D986Y-BF, N2 20 SLM
MFC1: AREA TC FC D986Y-BF, N2 10 SLM
MFC1: AREA TC FC D986Y-BF, N2 10 SLM
MFC1: AREA TC FC D985Y-BF, SiH4 100 SCCM
MFC1: AREA TC FC D986Y-BF, N2O 5 SLM
MFM1: AREA TC FM 865Y, SiH4 100 SCCM
Heater model: VMM 40-101
Vacuum controls:
APC (CKD) control: VEC-S8-X0201
Controller specifications:
Main controller: WAVES
Temperature controller: Alpha 8SE-C
Pressure controller: None
Mecha controller: None
Burn controller: None
MFC controller: None.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE是一種多用途高頻擴散爐，用於半導體加工和其他制造技術。它有一個內部石英管，具有精確的溫度控制和均勻的加熱，可以精確控制加工參數。石英管被充滿氮的氣體屏蔽所包圍，提供惰性氣氛和優越的隔熱。爐子配有精確的頻率控制設備，專門設計用於提供精確的溫度控制。該系統不需要頻繁的手動調整，允許重復加熱時間和穩態條件。該裝置還具有功率比控制機，為均勻的散熱提供高速、精確的溫度控制。TEL ALPHA-8SE配備了樣品裝載工具和集成裝卸站。它允許最多八個晶片或基板在任何一個時間都可以近距離加載。此外,樣品加載資產的設計確保了在加載、卸載和處理過程中保持制造光機械對準。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE也提供了對擴散循環的高度控制。它提供對溫度斜坡、時間密度剖面和循環端點檢測的精確控制。對於高負載應用，它配備了快速回收模型，提供加熱器的開/關調制，以限制循環對循環的變化。ALPHA 8S-E的自動化功能提供了易於使用的圖形用戶界面，帶有一套流程監控工具。該設備還可監控多達1200個工藝參數,從而實現高級工藝控制和制造工藝的完整可追蹤性。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE還提供了幾種先進的配件，例如用於氮氣凈化的電動快門和用於惰性氣體洗滌/分離的幹式氣體過濾器。ALPHA 8 SE擴散系統還提供符合SEMI S8和ISO14644-1標準的先進廢水減排裝置。這樣可以確保排放的空氣保持在安全和符合環境要求的水平。該爐還設計為堅固、可靠、高效，有一系列選項可以滿足客戶的要求。
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