二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #293807084 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE
ID: 293807084
晶圓大小: 6"
Furnaces, 6" Process: Doped poly.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE擴散爐及配件是一種用途廣泛、效率高的材料加工設備,適用於各種應用。它設計用於擴散退火、生長薄膜和外延層以及薄膜的氣相沈積。該爐采用重型空氣攪拌石墨電阻爐供電,由3,066立方厘米或117英寸立方體、高效真空設備、高達2000 °C的溫度範圍和可選的氣體脈沖閥組成。TEL ALPHA-8SE可用於生長單層和多層材料,並適合各種標準和定制的盒式磁帶尺寸。爐子配有一個自動功率控制單元,能夠精確規劃功率水平和溫度。控制單元還提供診斷和故障檢測功能,以及事件記錄。它具有多種可編程控制功能,並與多個模擬輸出和數字信號集成在一起,用於監控過程性能,以及用於控制系統。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE還有一個先進的氣體噴射裝置,能夠同時噴射和混合幾種氣體,每種氣體都有單獨的控制。該機還具有質量流量控制器,可用於監測、控制和分析一種或多種氣體的流量。它還配備了一個可選的氣體輸送工具,根據程序和工藝,該工具可用於通過單獨的閥門輸送氣體。在配件方面,TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE附有一系列可用於有效安全操作的系統。有一個先進的冷卻設備使用空氣-水冷卻模型來有效地保護產品免受過量溫度的影響,還有一個先進的安全設備提供緊急關閉和故障安全設置。它帶有一個可選的可選卡帶大小控制器,它允許多個卡帶大小,以及精確的氣流控制和批處理程序選擇。總體而言,ALPHA 8 S E擴散爐及其附件是一種高效可靠的材料加工設備。它具有多種功能和系統,通過空氣-水冷卻系統、精確的溫度、電源和氣體控制、各種程序設置和安全的操作設置,幫助確保安全和精確的操作。這使得它適合薄膜生長和擴散等多種應用,使其成為一系列行業的理想選擇。
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