二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9065751 待售
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已售出
ID: 9065751
晶圓大小: 8"
Doped poly furnace, 8"
System layout type
System hand LL
Side maintenance no
System paint color white
Furnace front surface finish SUS polished #600
Process pressure 500 mTorr
Process temperature 620C
Mid temp VMM-40-101, 5 zone
NGK SH-302
Non SMIF
Process gases
Process gas 1 Pure N2
Process gas 2 SiH4
Process gas 3 5% PH3/N2
Process gas 4 0.5% PH3/N2
(4) Heater chambers
CE Marked
2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE是專門為產生精確數量的矽和其他半導體材料而設計的擴散爐。這種8室爐在每個室中都具有獨立的溫度和氣體控制功能，從而可以精確控制高品位半導體材料的氣流和批量生產。每個腔室的額定功率是600W的，可以支撐高達1150 °C的溫度。TEL ALPHA-8SE附帶了許多附件,用戶可以根據自己的需要定制設置。這包括一個石英管，隔離環和網狀輸送機，以支持各種晶圓尺寸。此外,TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE還具有PC控制的PID溫度和氣體控制設備,可輕松監控和精確調整溫度。其他功能包括溫度均勻性優於± 1°C,以及與使用以太網協議的外圍設備的通信功能。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S E還包括它自己的真空泵,以確保您的工藝達到適當的真空水平。該真空系統由單級微分子泵、真空計和用於增加泵送功率的真空助推器組成。這種真空泵的抽水速度為100升/分鐘，能夠迅速撤離機組。除了基本功能外，TOKYO ELECTRON Alpha 8SE還能夠提供許多專用功能來改善用戶體驗。例如,它有一個高級配方控制器,允許您存儲最多20種不同的配方,您只需單擊即可調用這些配方。它還擁有一臺有助於減少停機時間的自動清潔機和一個有助於節約能源的能源監控工具。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE是任何需要精確控制半導體材料溫度和氣流的人的絕佳選擇。憑借其強大的輸出和創新的特點，這也難怪為什麼這種擴散爐配件套如此流行。
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