二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9073199 待售
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已售出
ID: 9073199
晶圓大小: 8"
優質的: 2002
Doped poly furnace, 8"
System Hand LL
Side Maintenance: No
System Paint Color: White
Furnace Front Surface Finish: Stainless Steel
Process Pressure: 500 mTorr
Process Temperature: 800ºC
FTP Heater: Installed
Rapid Cooling Unit: Installed
Heater Type: FTP VOS-40-017 (RT)-1000C
N2 Purge System: Installed
02 Densimeter Model: Toray LC750
SMIF: Not Installed
SMIF POD (maker/model): N/A
SMIF OEM Probe (maker/model): N/A
AGV Compatibility: Installed
Process Gases:
Process Gas 1 Pure N2
Process Gas 2 NH3
Process Gas 3 SiH2Cl2 (DCS)
Process Gas 4 N2O
Process Gas 5 SiH4
Process Gas 6 NH3
Process Gas 7 PH3 5%/He
Process Gas 8 SiCl4
Process Gas 9 H2
CE Marked
2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE是一種用於生產先進產品和材料的擴散爐及配件。該設備主要用於制造基於矽的半導體器件，如集成電路、晶體管和其他現代元件。TEL ALPHA-8SE擴散爐有助於形成這些部件的復雜細節和副產品,從而提高生產效率和成本效益。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE擴散爐是一種功能廣泛的單晶圓爐。它具有一組檢測和測量所包含的晶圓腔內溫度的高溫計，提供實時調整，以確保產品質量一致。該系統還有一個最新的絕緣單元和高溫電阻率，讓爐子安全地達到高達1400攝氏度的溫度。通過安裝化學冷卻機進一步增強了這一功能，使用戶在設備制造過程中獲得了更多的控制和精度。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-E還具有集成的觸摸屏界面，允許用戶監控爐內晶圓和材料加熱過程。它可以針對任何特定環境進行編程,並且可以適應不同的設施要求。作為其安全措施的一部分，該工具有一個壓力閥，防止過大的壓力積聚。此外，TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-E還配有大量的附件組件，這些組件可以並入爐子公司的制造過程中，從而擴大了設備能做什麼的可能性。TEL ALPHA 8S-E擴散爐是一種可靠高效的資產，符合並超過現代生產標準。它的高級功能為用戶提供了制造產品所需的精確度和細節。此外,它還具有更高的成本效益和更容易管理材料生產的優點。這種靈活性和多功能性使得TOKYO ELECTRON ALpha 8SE許多工業設施的理想選擇。
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