二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9079967 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE是一種用於半導體器件制造工藝的擴散爐及配件。它以可靠的制造和可靠的性能而聞名。TEL ALPHA-8SE爐提供一系列功能和選項,以滿足制造商的各種需求。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE體積小巧，能耗低，是中小型生產設施的理想選擇。TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-E擴散爐有兩種不同的工藝室,陽極和陰極.兩個腔室均由水循環設備冷卻，並進行絕緣，以提供室內最佳的溫度穩定性和均勻性。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-E的溫度範圍在25-1150°C之間，可控斜坡速率高達5°C/sec。溫度範圍非常適合於大多數輸入材料和基材材料，包括矽、砷化氙和她的。ALPHA 8 S E擴散爐還具有均勻性補償III （UCIII）系統,該系統可根據爐膛內的溫度均勻性變化進行調整。UCIII與蒸氣輸送裝置配合工作，以確保整個腔室的蒸氣輸送一致。這臺機器還有助於最大限度地減少在較長時間的過程中底物燒壞的機會。TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE還配備了化學氣相沈積（CVD）附件，使所需材料的薄膜能夠沈積在基板上。此過程用於制造電氣觸點等組件。它的工作原理是將化學蒸氣引入室內，加熱後在基板表面形成沈積層。該工具通過計算機控制的過程控制器進行控制，該控制器控制化學氣流和底物溫度。TEL ALPHA 8S-E擴散爐還具有先進的安全部件.它有一個用於監測腔室壓力的壓力傳感器和一個氣體關閉閥，在緊急情況下可以遠程操作。該爐還有一個緊急關閉開關，可以手動操作。此外，ALPHA 8S-E有一個內置資產來監測爐子的性能，並與控制單元溝通任何問題。總體而言，TEL ALPHA 8 SE是一種可靠高效的擴散爐和附件。它為安全可靠的操作提供高級功能和組件,是中小型生產設施的理想選擇。