二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9093709 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE是一種單晶圓擴散爐，專為尋求采用水平單晶圓技術的經濟高效熱處理解決方案的晶圓而設計。該設備具有晶圓拓撲的專利創新、保持溫度均勻性的垂直加熱室以及一系列工藝氣體能力。TEL ALPHA-8SE是利用高溫氣體在水平晶片裝置中氧化或還原晶片的擴散爐。它包括一個垂直加熱室，內部加熱板可以達到高達1400°C的溫度，整個表面均勻度± 2°C。該系統的熱容量和均勻的溫度控制，使得熱處理控制非常出色，處理時間從幾秒鐘到幾個小時不等。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE還實現了最新的工藝氣體技術，支持使用Ar、H2、N2、N2O、O2等氣體。該單元包括一臺多步氣體控制機，允許用戶精確控制各氣體成分的氣流和混合比。它還支持多達8個提取閥，允許用戶定制自己的擴散配方。為了獲得更多的靈活性，TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE還具有廣泛的附件，包括額外的晶圓支架、晶圓處理元件、CVD背面冷卻工具以及有保證的加工溫度監測器。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S E也有電腦控制的配套設施，用於維護、操作過程、熱檢和測量。ALPHA 8 SE是半導體制造商的高效、經濟高效的擴散解決方案。其靈活可靠的設計可用於處理各種半導體應用，並增加精度和可定制的工藝配方。先進的氣體控制資產和多種工藝氣體功能等功能有助於確保熱處理成功,同時實現一致的批對批小型化。