二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9192195 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE是一種擴散爐和附件，用於將金屬和其他化合物沈積到半導體上。該擴散爐基於垂直反應堆管設計，由一個入口和兩個出口端口組成，使材料能夠進出反應室。TEL ALPHA-8SE為用戶提供了高溫和超純沈積環境,並提供了存放均質或非均質薄膜的靈活性。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE具有先進的加熱設備,能夠達到300°C和1,000°C的溫度。該爐由兩個微調的石墨襯裏加熱室組成，每個加熱室由獨立的PID控制，用於精確的溫度管理。兩個加熱室同時工作，在沈積過程中實現了極好的均勻性。ALPHA 8S-E也有能力配備額外的用於溫度傾斜的四向隔離閥。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE爐提供了一系列有助於確保沈積材料的完整性和均勻性的先進技術。擴散室采用獨立的壓力控制系統、模塊化設計和惰性氣體註入裝置，以確保基板零接觸汙染。此外，該爐采用先進的傳感器和電子束探測器，以確保一致準確的數據讀數。TEL Alpha 8SE包括針對各種應用進行優化的一系列附件和模塊。例如，爐子可以配備一個輸送機，該輸送機以受控的線性方式通過腔室操作基板。該爐還提供了多種安全功能，如防火機、ESD防護、紫外線防護等，以防突發事件發生。TEL ALPHA-8 SE是一個理想的擴散爐對於那些尋求一個先進的，大規模的熱沈積工具，能夠達到精確的沈積結果。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA的高度精確的溫度管理,加上一系列安全功能和其他旨在防止汙染的功能,使TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-E那些行業需要可靠、長期性能的用戶的絕佳選擇。