二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9216087 待售
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已售出
ID: 9216087
晶圓大小: 8"
優質的: 1997
PIQ System, 8"
General:
Heater type: VMM-40-101
SMIF / IO: Open cassette type
Process gasses:
Gas 1: MFC1 - N2 (20SLM)
Gas 2: MFC2 - N2 (30SLM)
Gas 3: MFC3 - N2 (3SLM)
Gas 4: MFC4 - O2 (10SLM)
Gas 5: MFC5 - SiH4 (200SCCM)
Gas 6: MFC6 - SiH4 (200SCCM)
Gas distribution system:
Basic style: Conventional gas system
Tubing material: Stainless steel
Tubing finish: Elctro-polished
Manual valve: FUJIKIN
Air operated valve: FUJIKIN
MFC: AERA
Wafer / Cassette handling
Wafer type: 200mm SEMI STD-Notch
(5) Fork types / Materials
Fork variable pitch
Cassette:
Type: Entergris / XT200-01E
(25) Wafers
(21) Storage cassettes
Boat / Pedestal:
(150) Production wafers
Boat rotation
System controls:
TS-4000Z
Signal tower colors: G/R/A
General pressure display: Mpa
Cabinet exhaust display: Kpa
Furnace temperature controller: M121
Host communications:
Host computer
Host computer I/F: SECS I/II (RS232)
Information transfer protocol: GEM
Equipment host I/F connection: U / Box top
Group controller: JGA
Power:
Heater: 208 V, 3 Phase, 31.6 KVA
Voltage: 208 V, 1 Phase: 2.3 KVA
Pump: 208 V, 3 phase: 12.4 KVA
1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE是專門為半導體制造工藝設計的單晶圓高溫擴散爐及配件。TEL ALPHA-8SE是一種全自動生產爐，旨在滿足現代半導體制造商的苛刻要求。它具有八個區域的控制，能夠在每個區域進行精確的溫度和大氣控制，並在整個過程中確保均勻的溫度。八個區域中的每一個都配備了可單獨調節的加熱器功率，以容納不同尺寸的工件。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE的熱區溫度可以提升到1250°C，使其能夠容納更多的高溫擴散過程。ALPHA 8 SE還配備了熱電偶位置傳感器技術，允許精確的溫度控制。傳感器監視每個工件的溫度,以確保溫度分布均勻。這種最先進的技術有助於在擴散過程中提供卓越的性能和可靠性。為了最大程度的安全和方便，ALPHA 8 S E設有一個內部壓力監測儀，可以對過程大氣壓力進行連續監測。TEL ALPHA 8 S E還具有自動氣流控制功能，以實現可調節的過程大氣流量，確保溫度分布均勻。此外,TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S E還提供遠程過程監控、復雜的互鎖系統、過溫保護和用戶友好的過程程序數據輸入。ALPHA 8S-E與廣泛的半導體級特種氣體兼容，並具有自動氣線清洗沖洗能力。由於其密封的外殼、改進的氣流系統以及自動的冷凝物去除，也很容易維護。利用Alpha 8SE,半導體制造商能夠生產出精確可靠的晶片.對於需要精確溫度和大氣控制的半導體工藝來說，這是一個持久、可靠、高效的選擇。
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