二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9223519 待售

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ID: 9223519
晶圓大小: 8"
優質的: 2008
Vertical LPCVD furnace, 8" High temperature oxidation ASYST Indexer in built Handler system: TEL Robot Utility box Transformer UPS CIM Linked 2008 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE是專門為半導體器件制造而設計的擴散爐及配件。該設備利用先進技術,以高效和精確的方式將摻雜物質加熱和均勻擴散到基質中。TEL ALPHA-8SE是一種由PC控制的系統,它能夠根據正在制造的半導體器件的類型來適應各種需求。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE具有一個高效率的腔室,負載能力高達4千克,允許一次處理更大批次的晶圓。該設備高度自動化,具有TEL專用Tornado™-Auto Set溫度控制機,可讓用戶節省常用配方和周期時間,從而顯著提高流程效率和準確性。使用Tornado™-Auto Set溫度控制工具,用戶可以輕松獲得準確的溫度剖面和快速的熱循環,這對於可靠的設備制造至關重要。ALPHA 8 S E還包括晶體烤箱與外部晶體烤箱連接的先進功能,以及TOKYO ELECTRON專屬多氣體註入資產(MGIS)。MGIS允許向腔室中精確註入多個活性氣體,以提高摻雜精度。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S E具有從室溫到1000攝氏度的廣泛溫度範圍。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S E的設計考慮到安全性,具有警報和聯鎖功能,在發生故障時立即關閉電源和供氣閥。這些功能確保操作員和設備的安全,並幫助保護設備免受任何不當操作或不當使用。ALPHA-8SE采用模塊化設計,易於安裝和維護。它還具有人性化的UI,用途極為廣泛。利用TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-E的先進技術,它是制造各種半導體器件的理想模型。
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