二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9233746 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE是為先進研發而設計的先進擴散爐及配件。設有八條獨立供熱制冷區的獨立自主通道，非常適合大型研發實驗室的批量工藝。TEL ALPHA-8SE具有高級控制器,可以精確控制每個區域並方便設置和可重復的結果。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE的主室由不銹鋼製成，允許最多8個8英寸的晶圓裝卸。該腔室具有集成的絕緣材料，以確保基板的加熱和冷卻均勻。晶片裝載機和卸載機均配有真空夾緊裝置，便於操作，並提供額外的安全級別。Alpha 8SE能夠保持最高1200 °C的最高溫度達2小時,並指定用於高溫處理。這種高溫能力是由先進的流化床熱源驅動的，該熱源高效，能夠極其快速地加熱和冷卻。熱源還使用石墨襯裏，使其能夠抵抗在加工過程中可以註入的腐蝕性氣體。ALPHA 8 S E擁有先進的過程控制系統，利用整個腔室的實時溫度和壓力傳感器，並使用預測算法來確保最高的過程精度。它配備了一個七英寸的觸摸屏用戶界面，可以讓操作員控制整個過程。另外，TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE兼容多種第三方應用，可以與過程控制系統集成。TOKYO ELECTRON ALPHA-8SE還配有多種配件，包括氣體面板和疏散面板，設計用於提供完整可靠的擴散爐系統。它還與各種工藝容器兼容，以實現快速的坡道速率和過程的充分靈活性。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8SE是一個全自動系統，並帶有內置的安全傳感器和協議，以確保用戶在操作過程中的安全。TEL ALPHA 8S-E是大型研發實驗室的優秀擴散爐。其堅固可靠的設計、先進的控制器和配件，使其成為批處理和先進研發的理想選擇。