二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9237580 待售

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ID: 9237580
晶圓大小: 4"
優質的: 1999
Vertical furnace, 4" Process: CAP-SIN Layout type: U/Box type LL Hand Heater type: VOS-40-017 FTP Rapid cooling unit TORAY LC-750 N2 Purge system O2 Densimeter Pressure control: CKD SMIF Not installed (I/O Type) Wafer transfer: 1+4 Pitch change (21) Cassette stockers (100) Process wafers Power supply: 208VAC / 208VAC, 1-Ph / 3-Ph 1999 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE是一種工業擴散爐,專為先進的半導體器件制造工藝而設計。配備精密溫度、壓力、流量控制器,提供高速、高精度能力。TEL ALPHA-8SE設計具有超低熱漂移和卓越的保護功能,可確保設備制造過程中的安全性和可靠性。該型號采用8區圓柱形加熱軌道,提供廣域加熱,允許在整個加熱區域內均等加熱。此外,它還具有可調節的溫度剖面控制功能,允許精確修改加熱剖面以適合正在加工的材料。其大型的檢修門、優化的通風口和氣流設計也有助於確保擴散過程的安全性和效率。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE還具有多步遙控器,允許從多個點定制控制擴散過程。它還包括一系列自動化物料轉移系統,以確保物料的順利和高效裝卸。其低振動特性通過提供動態空氣軸承、微振動傳感器和主動振動控制,進一步簡化了過程。這樣可以減少擴散過程中零件的應力並減少汙染。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE是為了與一系列附件和消耗品兼容而設計的。其中包括專門的樣品架、石英管和適配器,以及自動充電系統、氣瓶和高純度消耗品配件。這允許用戶定制其擴散過程以確保最佳結果。總體而言,TOKYO ELECTRON ALPHA-8SE是一種先進的高性能擴散爐及配件,非常適合半導體器件制造。其先進的溫度、壓力和流量控制器、低振動特性以及一系列自動化物料傳輸系統,確保了設備制造過程的安全性、可靠性和準確性。
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