二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9253985 待售
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ID: 9253985
晶圓大小: 8"
Vertical furnace, 8"
Process: Nitride
WAVES Display for PDU unit
Furnace:
WAVES 3.11 Controller
CKD Pressure controller
M560 Temp controller
VMM-40-101 Heater
(5) Control zones
IGS Gas pattern panel
PDU Unit
R-Axis
NOMARL ETC
AERA MFC
MKS Baratron Pressure controller:
MKS Baratron Sensor BS1
MKS Baratron Sensor BS2
N.C Pressure gauge
N.C Pressure gauge controller
CKD Pressure control
N.C Main valve
Loading system:
Transfer fork: 4+1
(21) Upper stages
(2) Transfer stages
Flat zone aligner
Wafer counter sensor
Power supply:
Heater power: 440 V
Control power: 208 V.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE是一種半導體器件擴散爐及配件，旨在為鏈接器件提供生產解決方案。TEL ALPHA-8SE是一種非常耐用且用途廣泛的熔爐,能夠執行各種復雜的制造和組裝過程。因此，它可用於各種工業應用，最突出的是半導體元件和器件裝配行業。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE的特點是一個不銹鋼室與陶瓷襯裏，允許精確的溫度控制與均勻性和可重復性。這有助於消除溫度敏感元件的精確制造和制造過程中的溫度變化。ALPHA-8 SE的溫度範圍為200 °C至1,000 °C，設計用於精確的溫度控制和精確的氧化控制。該爐還具有極好的內部均勻性，在整個爐膛內提供一致的溫度。這是通過圓形淋浴頭設計和精確的氣體通量來實現的。在ALPHA-8SE內部，精確的12區氣體系統通過適當混合氣體，確保所有過程的均勻性和可重復性。這個熔爐有許多與半導體元件組裝相關的過程.ALPHA 8 S E可以用於退火過程，氧化和還原，以及蝕刻和摻雜擴散過程。它還支持低壓化學氣相沈積（CVD）、氧氣擴散、氧化硫和氮氧化物以及濕蝕、熱氧化和氮化等過程。TEL ALPHA 8S-E使用其專有的過程控制軟件運行,允許對各種參數進行精確一致的控制。此程序允許使用允許操作員在一個周期內執行最多四個進程的專家模式輕松設置和調整所有進程參數和控制值。TEL ALPHA 8 SE是一種用於制造和裝配半導體元件的直觀、高效的擴散爐。憑借其精確的溫度均勻性、可重復性和多樣的工藝能力，這種爐有助於確保鏈接設備的快速準確生產。
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