二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9260381 待售
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已售出
ID: 9260381
晶圓大小: 6"
優質的: 2016
Furnace, 6"
Process: HTO / TEOS
Deep bay layout
I-Type furnace and UP/box
Furnace cabinets and Ultra-clean air flow system
Scavenger and water cooling unit
Main controller (WAVES)
Cassette and wafer handling automation:
Boat elevator
Wafer counter
SiC Wafer flat alignment, 6" (On I/O port)
Cassette storage: 21
Gas system for DCS: HTO / TEOS Process
Exhaust configuration: LP-CVD DCS-HTO, TEOS
Mid temperature heater: 8" Heating element
N2 Load lock system
Maintenance jig
UPS
Ingenuity connection
2016 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE擴散爐是用於制造和控制半導體材料和器件的最先進的半導體制造設備。該爐設計用於各種關鍵和高變化擴散過程,需要精確控制溫度和大氣。這種先進的設備是實驗和生產半導體元件的理想之選,因為它能夠統一處理不同大小和形狀的晶片,並且具有優異的可重復性。該爐采用一對密封不銹鋼室建造,每個室都有自己獨立控制的溫度和大氣。這允許在同一過程中對多種基板進行統一處理,同時保持對擴散溫度的全面控制。在腔室內,一對感應線圈能夠將晶片精確加熱到所需的溫度水平,並維持穩定的擴散環境。環境可以由環境大氣或惰性氣體維持,這取決於所進行的擴散過程的類型。爐子有一個內置的控制系統,使操作員能夠點對點調節每個晶片的腔內溫度,以提高精度。運算符還可以將溫度剖面編程為隨擴散溫度移動,從而獲得統一且可重復的結果。爐膛中使用的優質絕緣材料不僅減少了散熱,而且保持了整個爐膛的溫度穩定性和均勻性。除了具有高性能功能外,TEL ALPHA-8SE還配備了一系列附件,以進一步增強其滿足客戶需求的能力。其中包括自動裝卸系統、氮源和數字充電器單元。該擴散爐適用於從低溫應用到高溫過程的廣泛擴散過程。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE擴散爐是一種功能強大、用途廣泛的半導體元件制造和測試工具。其最先進的設計確保了在完全控制溫度和大氣的情況下一致和可靠地產生最高質量的結果。此設備提供的各種附件允許進一步定制,使其成為從事行業和研究的人員的理想選擇。
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