二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9282682 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE是為半導體器件制造而設計的多功能擴散爐設備。TEL ALPHA-8SE能夠同時進行低溫和高溫處理,範圍為1000 °C至2200 °C。它配備了最先進的技術，如分流器型監視器、接近傳感器和自動遠程交換能力。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE包括石英和陶瓷反應管，以實現最大的工藝均勻性和溫度均勻性，從而在整個工藝過程中提高晶圓均勻性和提高收率。其低溫和高溫工藝功能，加上其獨特的高溫砷化的工藝能力，使器件制造商通過多種半導體工藝達到最佳效果。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S E還具有先進的排氣系統，可配置最多三個滾筒，在多步驟過程中達到最佳工藝均勻性和溫度均勻性。其先進的實時診斷監控能力允許在任何給定時間精確控制設備參數，從而實現更好的晶圓均勻性和提高產量。TEL ALPHA 8 S E的快速啟動功能確保了強大的流程監控和高吞吐量,從而縮短了設置和流程時間。它還配備了自動氣線輸入，除了雙管機配置，使得它非常適合多步處理。它設計有一個自動溫度控制杯，確保室內精確的溫度，以及精確調節晶片持有者的水溫。TEL ALPHA-8 SE還配備了許多使其易於用於各種應用程序的功能,例如,它的操作監控工具提供了流程可視化功能,並能夠輕松進行實時修改。它的自動遠程交換功能使多種擴散工具能夠同時連接,並使不同工具之間的切換變得更加容易。其中包括一個直觀的圖形用戶界面（GUI）,以實現資產的簡化操作。此外，Alpha 8SE還設計了多項安全功能，以確保正常運行，如過電流保護器、緊急停止按鈕、水壓破裂探測器和高溫冷卻劑模型。它還配備了用於隔離個別線路的遠程互鎖，允許多個處理器運行而不會出現意外交叉汙染的風險。總而言之，ALPHA 8S-E是一種功能強大、用途廣泛的擴散爐設備，非常適合各種半導體器件制造應用。其先進的特點使得它適合研發，以及批量生產的目的。