二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #93405 待售
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已售出
ID: 93405
晶圓大小: 8"
優質的: 2002
APCVD furnace, 8"
Heater Model/Part No: VOS-40-017
Process: PIX Cure
Software Version: WAVE Controller
System Power Rating: 110AC One Phase / 208 AC
Loading Configuration 4 Loader
N2 LL
150 Wafer Load
Main System:
WAVES Controller
Photohelic Gauge
Boat Elevator
Wafer Load Automation
21 Cassette Stocker
Temperature Controller (M560)
Furnace Monitor, Power Control Unit
Remote Utility&Gas Cabinet
Inner T/C for Ration Mix
O2 Detector
Auto Shutter
Gas System (SiH4,CLF3,5%PH3,O2,N2,)
Options:
Signal Tower
Pitch Change Mechanism
UPS
GEM Communication
N2 Load Lock Ambient Control:
Quartz ware
Load lock purge system
Process gas O2,N2,
Gas Type - Convention Gas System
Tubing material - Stainless steel
Tubing Finish - Electro-polish
Manual valve - Fujikin
Fitting Type - VCR/UJR
Air-Operated valve - Fujikin
Filter - Millipore
Regulator - Veriflo
MFC - Aera
Pressure transducer - Millipore or NAGANO
Remote Components:
UTILITY BOX x1. Power Rating: 110/208AC
RCU cabinet x1 Power Rating: 110/208V
UPS x1. Power Rating: 110AC-1
Crated in a warehouse
2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE是提供高效、低成本生產電子元件的擴散爐及配件。它可以集成到現有生產線中，並易於使用其自動化裝載、溫度控制和封閉式設備技術。該爐采用封閉式氣體輸送系統，采用強大的垂直和水平氣體輸送裝置，最高溫度可達1600°C。由於TEL ALPHA-8SE構造堅固，生命周期很長，適合執行需要高溫的長任務。該爐還可以在高容量環境中工作，因為它能夠同時容納多達10個氣源。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE還包含一個水冷卻器，它可以在潮濕或潮濕的環境中安全使用。此工具還有助於確保溫度穩定,以加快冷卻和熱量分布。最重要的是，用純氮可以達到最大0.5%的滲漏水平，防止最終產物氧化。此外,TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S E配備了一套獨特的可變控件,只需一次觸摸即可輕松調節,使操作員可以根據不同的生產需求調整設置。該爐還具有多區溫度控制、可變氣流和預付費檢查功能等其他選項，以協助系統生產。TEL Alpha 8SE是一種高效可靠的擴散爐資產，非常適合大批量生產。ALPHA-8SE具有自動裝載、溫度控制和封閉式模型技術，是為下一條生產線尋找完整擴散爐和附件解決方案的人的理想選擇。
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