二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9410307 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE是一種用於制造高端半導體的最先進的擴散爐。該擴散爐專為高性能晶圓加工而設計。具有循環時間少、響應時間快、高溫均勻性等特點。TEL ALPHA-8SE的溫度精度± 0.5°C,工藝可重復性± 0.2°C。該8SE采用經過調整的原位處理室構建,能夠與相關系統和設備實現無縫集成。腔室由一個獨特的原位過程控制器操作，能夠精確控制過程參數。8SE也是完全自動化的，配有晶片裝卸的分配/收集設備。該系統允許快速、高效的批處理操作。擴散爐還采用嵌入式集成電路處理技術，允許生產先進的集成電路。它配備了管理氣流、壓力、速度等參數的先進單元控制子系統。先進的過程控制器能夠快速適應過程變化，能夠進行多種控制。此外,8 SE還具有內置的數據采集和存儲設施,以及目視檢查和診斷機器。這使操作員可以隨時監視和排除擴散過程。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE也有一個先進的機械臂來簡化晶圓的裝卸。機器人臂使用基於Windows的軟件界面進行編程和操作。總體而言，ALPHA 8S-E是一種極其可靠和能幹的擴散爐。它具有近乎完美的溫度精度和可重復性，可根據各種工藝要求進行高度調節。TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-E擁有內置的數據采集、存儲和機器人設備,是高端半導體組件的理想選擇。