二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SEi #293817034 待售
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ID: 293817034
FTP-SiN furnace
N2 Load Lock
Maintenance fixture
Temperature Profile Jig
Inner Tube Installation Jig
Fork Pitch Gauge
HCT Heater Installation Jig
CKD Comb-Valve Maintenance Jig
Tube Cart
Single T/C and extension cable
Auto profile T/C
IGS Maintenance Jig
Safety Guard Fixture for back door
Backdoor Remover
Base Unit for FTP-SiN Process Cabinets/Units/Controllers
Furnace Cabinet(I-Type Deep Bay), Built in SMIF I/O
Power Supply Unit, Control Unit:3-ph 480VAC, 1-ph 120VAC.
Main Controller (WAVES)
Temperature Controller (Model 560)
Heater Type VOS-40-017 500-1000C (FTP Heater)
Rapid Cooling Unit
Cassette and Wafer Handling Automation
Auto Tube Shutter
Boat Elevator with Rotation Function
Boat Elevator CAP for Q'z process tube
Wafer Load Automation
(25) Wafers/6" Conversion Cassette
(21) Cassette Loading Automation
Cassette model: Entegris KXTC150-0 200-97C02
SMIF POD Model: Entegris M200-5114
6" Si/Glass Wafer Handling Capability
SiN Process:
Integrated Gas System for F-Poly Process
(2) NH3 Gas Line (with N2 purge line)
(1) DCS Gas Line (with N2 purge line)
(3) N2 Gas Line
(2) Pure N2 Gas Line
(1) N2 line for boat rotation.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SEi是專門為高性能半導體制造工藝而設計的最先進的擴散爐。這款先進設備集成了尖端技術，為半導體行業的摻雜退火應用提供精確可靠的效果。TEL Alpha 8SEi是TEL著名擴散爐系列的一部分，以其在半導體加工中無與倫比的性能和可靠性著稱。TOKYO ELECTRON ALPHA 8SEi系統的核心是其堅固而創新的設計，其設計符合現代半導體制造的苛刻要求。爐膛采用高純度材料建造，保證了較高的熱穩定性和工藝清潔度。這種優化的設計允許在腔室內均勻分布溫度和控制氣體流動，從而實現精確的過程控制和整個晶圓表面一致的摻雜剖面。Alpha 8SEi具有先進的加熱和冷卻機制,可以在整個過程周期中快速進行熱傾斜和精確的溫度控制。這種能力對於實現半導體器件中的精確摻雜活化和退火剖面至關重要。該機組配備了多個加熱區和氣體噴射器，為特定工藝要求量身定制熱條件，確保了廣泛應用的最佳性能和靈活性。除了卓越的熱性能外，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SEi爐還融合了一系列先進的功能，以提高工藝效率和可靠性。該機配備了精確的氣流控制系統和自動化配方管理功能，允許與制造工作流無縫集成，並最大限度地減少操作員幹預。該爐還包括全面的安全機制和設備監測系統，以確保操作可靠性和人員隨時安全。TEL Alpha 8SEi工具的主要亮點之一是其卓越的過程重復性和產生的優化能力。該資產旨在最大限度地減少晶圓對晶圓的變化和工藝偏差,確保設備性能一致和制造產量高。該爐軟件配備了先進的工藝建模和優化工具，以微調工藝參數，達到特定設備要求的最佳性能。TOKYO ELECTRON ALPHA 8SEi模型還考慮到可擴展性和多功能性，允許無縫集成到現有半導體制造設施和工藝流程中。設備可以輕松定制和升級，以適應不斷變化的工藝需求和技術節點，確保半導體制造商的長期性能和投資保護。總體而言，Alpha 8SEi擴散爐是半導體制造中精密摻雜和退火工藝的尖端解決方案。憑借其先進的技術、卓越的性能和可靠的運行,TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SEi為半導體制造商提供了在快速發展的行業環境中實現高設備性能、產量優化和工藝效率的競爭優勢。
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