二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SEi #293830601 待售
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單擊可縮放
ID: 293830601
晶圓大小: 6"
優質的: 2019
Furnace, 6"
Process: Poly
SECS/GEM
(5) Zones
CE Mark certified
System controller: WAVES
Temperature range: 500-1000°C
Temperature controller: 560-A
Front surface finish: White
O-Ring tube seal
Signal lamp tower
Gas leak detection
Wafer type: FLAT
Wafer handler type: 5 Fork
Fork material: Alumina
Stocker: 21 Carrier
Load size: 170
Transfer stage wafer position sensor
Fork wafer position sensor
MFC type: Horiba STEC
Pressure display units: MPA
Control pressure sensor: MKS 623B
Main valve heated lines
TORR and MPA Pressure display units
CKD-VEC-R Main valve
Cooling water connection: Bottom
Incoming gas connection: Top
Vacuum foreline: Bottom
Furnace exhaust connection: Top
Vent exhaust connection: Top
Gas unit exhaust connection: Top
Pressure relief drain: Bottom
Cabinet exhaust display units: TORR
Internal UPS
FUJI M-UPS GX100
Gas / MFC Model / Line / MFC Size
N2 / Aera / ¼” / 20 L
N2 / Aera / ¼” / 5 L x 5
SiH4 / Aera / ¼” / 500cc x 2
H2 / Aera / ¼” / 200cc x 3
0.5% BCl3/H2 / Aera / ¼” / 100cc x 3
Power supply: 120 V, 1Phase + 480 V, 3Phase
2019 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SEi是為大批量生產半導體器件而設計的最先進的擴散爐設備。它是一種高度先進和通用的工具,可精確控制擴散過程,從而提高設備性能和產量。TEL Alpha 8SEi配備了尖端技術和創新功能,使其成為全球領先半導體制造商的首選。TOKYO ELECTRON ALPHA 8SEi的一個關鍵特征是其獨特的水平爐設計，它允許摻雜物質高效且均勻的擴散到矽片表面。此設計最大程度地減少了缺陷,並確保整個晶片的設備特性一致,從而提高了產量和整體設備性能。水平配置還可以輕松加載和卸載晶片,減少停機時間並提高生產率。Alpha 8SEi能夠處理廣泛的加工氣體和摻雜材料，使其適合各種擴散應用。它提供高達1200 °C的精確溫度控制,允許定制擴散剖面以滿足特定的設備要求。該系統配備了先進的氣流控制機制和過程監測能力，以確保可靠和可重復的擴散結果。除了其初級擴散爐外，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SEi還配有一系列附件和選項，可增強其性能和多功能性。這些附件包括一個專用的氣體處理單元，一個計算機化的控制接口，以及先進的晶圓處理機制。機器可以與一系列自動化解決方案集成，如機器人晶圓傳輸系統和先進的過程控制軟件，以進一步精簡生產工作流程，提高整體效率。TEL Alpha 8SEi的設計註重安全性和可靠性,具有高級安全聯鎖、溫度過高的保護機制和全面的診斷工具。該工具按照嚴格的質量標準制造，經過嚴格的測試，以確保其在大批量生產環境中的耐用性和長期可靠性。TEL提供全面的培訓和支持服務，幫助客戶最大化TOKYO ELECTRON Alpha 8SEi資產的性能和效率。總體而言,Alpha 8SEi擴散爐模型是一種前沿工具,可為半導體制造應用提供無與倫比的精度、可靠性和多功能性。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SEi憑借其創新的設計、先進的功能和全面的支持服務,是尋求在生產過程中實現高產率、卓越設備性能和卓越運營的半導體制造商的理想選擇。
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