二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha DS10 #9381895 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA DS10是一種高科技擴散爐和附件，能夠進行廣泛的擴散過程。TEL Alpha DS10專為制造矽、化合物和MOS、MEMS等先進半導體器件而設計。它還能夠容納高長寬比和交錯的透晶圓孔。該爐配有用於有效和均勻晶圓加工的水平穿梭機，以及用於改進和穩定加工的射頻發生器和氣體輸送設備。TOKYO ELECTRON ALPHA DS10具有許多有助於擴散過程的元件。主要部件為紅外探測器、石英乘法器、射頻發生器、質量流量控制器、氣體入口和真空泵。紅外探測器監視爐子的溫度，確保它在特定過程所需的範圍內。石英crucible在擴散過程中保持晶片，而射頻發生器則輔助晶片的擴散。Alpha DS10專為大批量生產而設計。它配備了一個自動晶片處理系統，能夠每小時裝載和卸載高達一千個晶片。該單元還采用雙室設計，允許同時應用兩種不同的溫度。該機器還提供了一種氣體節約工具，可確保節省高達30%的電力。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA DS10還具有操作員高度的安全性和安全性。爐子配有先進的清潔設備和安全監控資產。安全監測模型確保對所有基本數據點進行監測，並確保它們在可接受的操作範圍內。該爐還設有一個內部循環風扇，其設計目的是幫助保持室內的均勻溫度和分散的氣流，同時相應地監測放射性射線、X射線、電離輻射和暴露在更高電壓下的情況。所有這些功能都集中於確保設備高效、安全地運行。總體而言，TEL Alpha DS10是一種高性能、精密的擴散爐和配件，專為最先進的半導體制造而設計。它在擴散過程中提供了高度的準確性、重復性和穩定性，同時為操作員提供了最高級別的安全保障。