二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1S-M #9402239 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-M是為制造半導體材料而設計的擴散爐及配件。它是一種具有高效熱氧化和離子註入系統的單晶圓擴散爐，能夠處理大型晶圓。該擴散爐設計用於提供精確的溫度和壓力控制，從而能夠精確控制擴散過程。它配備了先進的自動調諧功能，使其能夠精確調整必要的參數，以確保最佳效果。TEL Formula-1S-M還具有高效晶片傳輸電機和高效水冷設備，能夠快速冷卻新鮮加工的晶片。它能夠在一定溫度範圍（最高2,500 °C）下運行,因此您可以確保在快速的過程時間內保持高溫。該系統還具有均勻性控制，並與一系列軌道安裝和非軌道安裝的晶圓尺寸兼容。TOKYO ELECTRON Formula-1S-M擴散爐還包括多個無烤箱加工室，由獨立控制。這樣就可以精確控制和統一整個晶片。它配備了雙聚焦掃描電子顯微鏡（SEM），因此可以實時驗證過程。此外，該裝置設計為提供可靠性和可重復性，從而能夠精確控制擴散過程。Formula-1S-M擴散爐設計用於交流電電壓和功率。其輸入電壓範圍為190至255伏，最大功率約為200安培。該爐還配備了一系列安全功能，包括絕緣監測裝置和過溫截止電路。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-M擴散爐是制造半導體材料的可靠高效的機器。它提供了高精度、控制和過程可重復性,並結合了高級自動調整功能,以實現最佳性能。此外,它還具有一系列安全操作功能,設計用於軌道安裝和非軌道安裝晶片。