二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula 2L1B #9309492 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Formula 2L1B是一種兩級水平擴散爐及其配套配件，專門為滿足基於光刻工藝應用的要求而設計。該設備具有卓越的溫度均勻性、高通量和嚴格的精度。該2L1B有兩個不同的爐室：加工室和RTP室。該工藝室容納產品晶片，並由上部和熱板管加熱，從而在整個晶片上產生最佳的溫度均勻性。熱板溫度是獨立調節的，使得每個晶片都能精確的溫度控制。RTP腔室設計用於快速熱處理,從而縮短處理時間,從而提高吞吐量。2L1B的附件包包括冷卻鼓風機、排氣管、稀釋管和安全面板等。冷卻鼓風機有助於在加工後有效冷卻產品晶片，排氣管有效地排出加工室內的廢氣。稀釋管有助於調節和調節兩個腔室的管溫。安全面板采用互鎖系統，確保安全的工藝環境。該2L1B還具有先進的溫度和水控制系統，以進一步提高工藝質量。溫度控制系統監測並維持每個爐膛的調節溫度，確保高工藝均勻性。水控系統提高了溫度均勻性，提供了出色的溫度精度和穩定性，使晶圓質量更好。總體而言，TEL配方2L1B是光刻工藝應用的絕佳選擇。其兩級臥式爐設計和綜合附件包保證了優越的溫度均勻性、高通量和優越的溫度精度和穩定性。該設備具有廣泛的可選功能和升級功能,使其成為市場上最強大的擴散系統之一。