二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula Nitride #9222338 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Formula Nitride
ID: 9222338
晶圓大小: 12"
Vertical LPCVD Furnaces, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON Formula Nitride是一種擴散爐設備,能夠異常的高溫控制和精確的氣體輸送。它具有極好的穩定性和耐用性,而且維護最少,而且能夠加工多種材料。該系統由擴散爐、噴嘴組件和精密氣體供應組成。擴散爐由鋁體、內部陶瓷體、雙壁式爐門和溫度測量單元組成。爐房上部裝有耐火陶瓷滾筒,爐房下部裝有陶瓷張力環。精密供氣機由一個氣體混合室、幾個閥門和一個壓力/流量計組成。噴嘴組件包括一個擴散噴嘴、一個敞開的頂塞和一個供氮管。TEL公式氮化物擴散爐能夠在至少700C到1100C的溫度範圍內運行。溫度由內部高精度熱調節器控制,該調節器補償環境溫度和壓力變化。敞開的頂塞可以方便地插入和去除材料,同時仍然保持一個緊密的密封,可以防止氧氣進入腔室。利用集成供氣工具,可以精確控制擴散爐內氣體的種類和濃度,從而實現精確的氣體反應控制。擴散器噴嘴確保樣品上氣體流動均勻,降低了不均勻擴散的風險。TOKYO ELECTRON FORMULA氮化物擴散爐是高溫擴散過程中可靠可靠的解決方案,實現了高質量、一致的結果。其令人印象深刻的溫度精度和均勻的氣流,加上嚴密可靠的密封,使其成為各種擴散過程的理想選擇。即使大量使用,它的使用壽命也很長,所需的資產維護也很少。簡而言之,氮化方程式擴散爐是一種有效可靠的高性能擴散工藝解決方案。
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