二手 TEL / TOKYO ELECTRON H-LP #9137193 待售

TEL/TOKYO ELECTRON H-LP是一種擴散爐，專為傳遞精確的熱過程和維持潔凈室條件而設計。該爐的目的是通過提供半導體生產過程中必需的退火處理來批量生產微電子元件。也可用於使用各種熱過程，如氧化、外延、合金化等，統一制造大量底物。TEL H-LP擴散爐由熱循環設備、機器人轉移設備和自動控制軟件三大部分組成。熱循環設備負責通過加熱和冷卻來控制熱過程。它是專門為同時、高效地容納最多3個模塊而設計的。機器人轉移系統負責在清潔室環境中自動取回基板並將其放入爐內。自動化控制軟件旨在通過實時調整參數來監控和簡化生產過程。TOKYO ELECTRON H-LP擴散爐具有多種特點，可提高熱過程的精度和效率。例如,其獨特的強制冷卻裝置利用固定安裝式鼓風機的空氣來控制溫度波動,同時確保不會對室內材料造成汙染。此外，它的自動伺服機配備了無線遙控器，允許用戶從安全距離調整和微調過程。此外，加熱器鏈條經過專門設計，可以使用優化的PID控制算法，確保整個腔室的加熱溫度均勻。此外，H-LP擴散爐還具有各種安全特性。其抗傾斜結構確保刀具在加工過程中保持穩定，不會振動或移位。它還配備了一個先進的24小時安全監測資產，用於跟蹤設備的狀況，並在發生任何問題時提醒操作員。此外，自動填充冷卻劑裝置確保在關鍵時刻提供必要的冷卻劑，以防止爐子達到可能導致過度加熱的高溫。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON H-LP擴散爐是清潔室環境中精確熱處理的絕佳選擇。這種多用途的機器提供了許多功能，以最大限度地提高精度和效率，同時提高安全性。其獨特的設計，結合方便的配件，使其成為各種微電子生產工藝的寶貴工具。