二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-LVPCKNR #9381856 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-LVPCKNR是為微電子器件精密制造而設計的擴散爐及配件設備。這種先進的系統采用多層結晶膜、熱穩定工藝以及對溫度和流量的高度控制，使微觀制造成為可能。該單元適用於用於制造新材料或結構的各種工藝。TEL Indy-I-LVPCKNR有幾個部件，包括一個用於存放待加工物料的熔爐、一個加熱器、一個流量計、一個氣源、一個真空機和一個排氣工具。Crucible由高品位的不銹鋼銑削而成，並具有內置射頻加熱器的鉑合金襯裏。Crucible的設計目的是在整個過程中提供極其穩定的溫度，並允許對材料過程的溫度和空間進行精確控制。內置的射頻加熱器允許更快的加熱周期，從而創造更大的吞吐量。加熱器用於達到所需溫度,通常在850至800攝氏度之間。加熱器由高溫合金制成，具有可調冷卻資產，以維持所需溫度。氣源和流量計允許引入各種氣體進行處理，具體取決於應用情況。例如，氮氣可用於氧化和退火過程，而形成氣體則可用於材料forDeposition1ing。真空模型有助於確保腔室和材料在過程中保持無汙染物。TOKYO ELECTRON Indy-I-LVPCKNR還具有幾個安全特性，如低溫傳感器、用於檢測腔室超壓的壓力開關和電源故障指示器。這些安全功能有助於確保設備在使用過程中的安全性和可靠性。排氣系統收集和消散汙染物，同時在冷卻過程中也將腔室排出。Indy-I-LVPCKNR的設計達到了最高的效率和準確性。由於工藝參數的準確性,它可以實現更快的生產周期和更高的產量,這些參數由於設備的設計和安全特性而受到控制。該機采用多層結晶膜、熱穩定工藝、精密控制，是微電子器件精密制造的絕佳選擇。