二手 TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293643277 待售
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ID: 293643277
晶圓大小: 12"
優質的: 2007
Furnace, 12"
Process: DCS-MTO
Load lock system
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M Etcher/Asher是一款用於後端線（BEOL）應用的濕式臺式蝕刻器和Asher，非常適合廣泛的制造工藝。此高級工具圍繞三個獨立的自動化進程：剝離、蝕刻和灰化。剝離是最初從矽片中去除腐蝕性層所用的工藝，這是隨後濕處理的必要步驟。該工具的高壓模式允許一次剝離多達9個晶片，使得吞吐量比其他同類工具更快。蝕刻是過程中的下一步，也使用高壓噴霧或浸入能力同時蝕刻介電、金屬或兩者。它利用了一個可以定制以適應各種應用程序的兩步過程。蝕刻速率可通過編程調節，可實時監控。該工具的ASHING工藝旨在均勻地蝕刻和去除晶圓表面的光敏塗層。該工藝采用CleanScribe Technology，幫助均勻地去除光刻膠，同時避免損壞晶片。增加專用的ETCH/AIR壓縮機和DI/N2保護裝置有助於保持腔室清潔，確保可靠、無汙染的過程。該工具還具有進行各種升級和添加的潛力,允許根據制造商的特定應用程序進行進一步定制。TEL INDY PLUS B-M Etcher/Asher采用三階段工藝和可定制配置,是各種電子制造應用的理想選擇。它提供快速、高效的處理,並且能夠滿足任何給定作業的確切規格。通過利用最新的蝕刻/灰燼技術,這種先進的工具能夠快速可靠地滿足最苛刻和精確的要求。
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