二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI #9381811 待售
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單擊可縮放
ID: 9381811
晶圓大小: 12"
優質的: 2012
Furnace, 12"
Process: HFSiOX
Rapid cooling unit
Pump box
VMM-56-201 Heater
FUJIKIN Air valve
MFC, MFM: AERA
MAIN / APC: CKD
Load lock system
GFC Display
Load port: Side FFU
FIMS Port
Heater type:
VMM-56-201 Low temp
(4) Zones: 150°C~600°C
Furnace subsystem:
Automation system
Heater
Process chamber
Temperature controller
Scavenger
Cooling water unit
Gas subsystem:
Gas supply unit
Exhaust
Vacuum line
Gas:
PN2
N2
Ar
O3
3-DMASi (Liquid)
H2O and TDMAH (Source tank)
Missing Parts:
QUARTZ Wares
(2) Hard Disk Drives (HDD)
Power supply: 3 Phase, AC 480 V, Single phase, AC 120 V
2012 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI是一種擴散爐和一套伴隨的配件。該爐旨在為各種應用提供先進的半導體器件加工。TEL Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI是一種高溫、高純度、水平擴散爐。該爐能夠達到高達1,730攝氏度的溫度。采用三區設計，保證擴散過程中溫度均勻。爐子使用獨立的惰性氣源，以確保設備在加工過程中的清潔和安全環境。隨附的附件設計為提供完整的擴散處理解決方案。附件包括電子回旋共振等離子體源、TCA（熱電冷卻組件）、加載晶片的自動放大器、帶有自動晶片傳輸設備的負載端口以及高真空系統。TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI包含了幾個特性，以最大限度地提高擴散過程的效率。該爐具有自動調諧功能，可最大限度地減少設置時間，具有監控過程參數的監控單元，以及具有圖形用戶界面的強大數據采集機。Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI是一種可靠、安全且易於使用的工具,可滿足廣泛的工藝要求。其關鍵特性使其成為先進設備處理的絕佳選擇。爐及配件可靠且維護程度低，設計可提供較長的使用壽命。這種熔融的二氧化矽工藝管提供卓越的隔熱，以確保擴散過程中的溫度一致和均勻。這種強大的擴散爐和附件套件為用戶提供了先進的設備處理應用的綜合解決方案。TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI的設計滿足了半導體器件加工行業最嚴格的需求。
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