二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI #9381820 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI是一種配有附件組件的擴散爐，使其在提供專業級熱處理環境的職責上高效可靠。該系統可以處理各種適當額定的材料，包括用於各種電子和集成電路應用的晶片。夾具由一個真空室組成，在該真空室中進行該過程，同時還有進料通路、溫度傳感器、氣候控制組件和控制裝置。Indy Plus-B是一種垂直式擴散爐，能夠提供500至1250°C的溫度，最大運行壓力為0.5至10 torr。機組的閃光循環時間為15秒，抽水循環時間不到1小時。這允許在壓力或溫度升高變化的情況下進行連續流動過程。腔室直徑315mm，高度1100mm，最大晶圓載荷為6"。它能夠提供各種類型的氧化、氮化、退火和擴散過程。此外，該裝置還包括一個Oxid面罩、淋浴頭和一個十八升程溫度控制裝置，以保證加工溫度的均勻性。該裝置還采用了「脈沖數字退火」工藝，在低溫和高溫之間交替進行，每個循環都允許更快的溫度變化和穩定的熱環境。這一特點得益於外部加熱元件的使用以及擴散室的直接轉移加熱技術及其統一的溫度控制能力。在此設置中,低溫和高溫周期會自動交替出現,從而產生比同類模型更快的過程周期。該單元還配備了一系列安全功能。這包括自動底部互鎖、過溫度關閉和氣流中斷自動關閉，通過一系列參數確保安全。該單元還包含一個雙旋轉真空閥，以便在裝卸晶片時提高效率，以及一個用於提高耐用性的熱壁陶瓷室。TEL Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI是一種高效可靠的工業化擴散爐，配備了耐用的部件、安全特性和適應性的溫度控制能力。它是氧化、氮化、退火、擴散等多種過程的理想選擇，在其腔室中可容納多達6英寸的晶片。憑借其先進的設計和15秒的閃光循環時間，這種擴散爐是現代電子集成電路應用的絕佳選擇。