二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI #9381823 待售
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單擊可縮放
ID: 9381823
晶圓大小: 12"
優質的: 2012
Furnace, 12"
Process: HFSiOX
Type: LPCVD
Rapid cooling unit
Pump box
Power box
VMM-56-201 Heater
FUJIKIN Air valve
MFC, MFM: AERA
MAIN / APC: CKD
Load lock system
GFC Display
Load port: Side FFU
FIMS Port
Wafer transfer
(2) Boat systems KAWASAKI
Heater type:
VMM-56-201 Low temp
(4) Zones: 150°C~600°C
Furnace subsystem:
Automation system
Heater
Process chamber
Temperature controller
Scavenger
Cooling water unit
Gas subsystem:
Gas supply unit
Exhaust
Vacuum line
Gas:
N2
Ar
O3
3-DMASi (Liquid)
H2O and TDMAH (Source tank)
Missing parts:
(2) Hard Disk Drives (HDD)
QUARTZ Wares
Manifold accessory
Power supply: 3 Phase, AC 480 V, Single phase, AC 120 V
2012 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI是為高效半導體器件制造而設計的擴散爐及配件。該設備用於在IC處理過程中將摻雜劑沈積在外延層中。它有一個垂直的結構，使最高溫度均勻性，以及一個集成的排氣歧管，以減少汙染。該單元包括一個可編程微處理器和一個主動聯鎖系統，以確保安全運行。TEL Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI配備了行業標準的特性，使得該單元成為半導體制造過程中高效外延層生產的理想選擇。它具有可編程的溫度/時間控制和新的優化算法，以實現最高的精度和準確性。機器的溫度範圍隨著多區控制器的加入而擴大。該工具還提供了可調的工藝壓力，以優化外延層的生長。TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-MVCKNNRRTXI擴散爐具有自動前綴氣體輸送資產，自動增加保證金劑量以保持穩定的源氣體濃度。它的自動清除模型在下一次運行之前清除不需要的氣體，以確保高度可重復的結果。此外，實時氣體監測分析設備可以監測多個氣體，進行精確反饋和控制。Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI通過提供直觀的用戶界面、流程數據反饋和調整功能,提供精確的流程監控和控制。全面的數據記錄系統允許全面追蹤和立即訪問數據。批記錄和集成功能提供了高效的數據管理和召回功能。TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI被設計為兼容多種擴展卡和升級，允許個人定制和未來擴展。該單元還符合所有行業安全標準，並配備了內置泄漏檢測傳感器的可調過程控制機。TEL Indy Plus-B-MVCKNNRTXI具有高效的設計、高的運行性能和安全特性,是半導體制造和外延層生產的可靠選擇。
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