二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI #9381827 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI是一種中產、垂直放置的帶有附件的擴散爐。該爐可用於制造高純度半導體材料。它用於半導體生產，特別是分層復合半導體。具有大容量晶片盒、高溫操作、精確溫壓控制等特點。設備包括主室、多區控制器、排氣系統和一系列配件。主室包括一個供熱區、一個冷卻區和一個觀察港。加熱區一次最多可容納150個晶片，帶有一個自動裝載機單元，便於裝卸。加熱區還提供快速熱氮退火，用於在半導體材料中產生結晶結構。冷卻區有一系列冷卻通道，用於晶片的均勻冷卻。多區控制器可以精確調節各區的溫度、壓力和流量。它還允許用戶控制爐子內的大氣，包括工藝氣體、腔室真空和滅火氣體。此外,控制器還具有自定義過程控制的可編程配方。排氣機安裝在主室後部，並提供自動抽水循環，以便高效排空和更換空氣。這樣可以精確控制空腔中的大氣壓，有助於降低爆炸風險。此外，排氣工具還配備了長壽命過濾器和洗滌器，以清除加工氣體中的任何汙染物。TEL Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI配件包括了一系列的石英器、熱電偶、多閥設備和氣體面板。石英器包括石英船、石英瓶、石英膠囊。熱電偶用於溫度測量，可以進行校準，以確保高精度。多閥設備由幾個閥門組成，用於控制腔室內的大氣。而燃氣面板采用了一系列手動和自動化的閥門，用於精確的燃氣輸送和控制。總體而言，TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI擴散爐是高效、精確地制造高純度半導體材料的強大精密資產。它是中小型半導體生產設施的絕佳選擇。