二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI #9381828 待售
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ID: 9381828
晶圓大小: 12"
優質的: 2012
Furnace, 12"
Process: HFSiOX
Type: LPCVD
Rapid cooling unit
Pump box
VMM-56-201 Heater
FUJIKIN Air valve
MFC, MFM: AERA
MAIN / APC: CKD
Load lock system
Display: GFC
(2) Boat systems KAWASAKI
Heater type:
VMM-56-201 Low temp
(4) Zones: 150°C~600°C
Furnace subsystem:
Automation system
Heater
Process chamber
Temperature controller
Scavenger
Cooling water unit
Gas subsystem:
Gas supply unit
Exhaust
Vacuum line
Gas:
N2
PN2
Ar
O3
3-DMASi (Liquid)
H2O and TDMAH (Source tank)
Missing parts:
QUARTZ Wares
(2) Hard Disk Drives (HDD)
Manifold
Power supply: 3 Phase, AC 480 V, Single phase, AC 120 V
2012 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI是一種為高效加工半導體基板而設計的擴散爐。該爐允許用戶為特定過程編程自定義擴散配方。它具有方便的低成本MVCKNNRRTXI電源,可提供高達25安培的功率。設備還提供了從325°C到1050°C的精確可調溫度範圍。該系統配有敏感的熱傳感器，用於監測和控制所有與溫度相關的過程。該腔室的設計是為了有效地將熱量散發到外部環境，以便有效地操作。TEL Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI還配備了先進的爐子控制軟件和先進的工藝控制功能。這包括室內溫度的動態編程、配方選擇和儲存、自動預調制、閉環溫度控制以及控制分離通道和鏈接通道的能力。該設備還具有遠程自我診斷功能以及可編程警報功能。TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI專為高溫氣體和化學氣相沈積（CVD）工藝而設計，提供優異的工藝均勻性和高度的工藝控制。它旨在減少反應擴散損失，提高底物溫度均勻性。該工藝室具有高精度的多區加熱特性，用戶可以準確控制工藝溫度。Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI還具有自動化的載荷鎖門，能夠快速裝卸腔室。真空密封裝置可防止任何外部汙染物在擴散過程中進入腔室。該室還裝有石英晶片吊艙，可對其進行編程，以提供精確的溫度循環和精確的氣流定時，從而在基板上形成均勻的薄膜厚度和密度。TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI還包括多個用於高級操作和保護的配件。它包括可進行單文件處理的裝載盒式磁帶，以及可與加工氣體集成的氣體歧管機，確保反應物在室內均勻均勻地混合。此外，該工具還配備了一個機械安全關閉閥和一個手指安全清洗機構，以防止在操作過程中意外釋放工藝氣體。TEL Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI擴散爐是一種易於使用、可靠且具有成本效益的資產，能夠為各種工藝產生統一和一致的結果。特征和附件的結合，加上其先進的控制模型，使其成為所有擴散和沈積過程的理想選擇。
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