二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI #9381830 待售
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ID: 9381830
晶圓大小: 12"
優質的: 2010
Furnace, 12"
Process: HfSiOx
Heater type:
VMM-56-201 Low temp
(4) Zones: 150°C~600°C
Gas:
N2
Ar
O3
3-DMASi (Liquid)
H2O and TDMAH (Source tank)
(2) Boat systems KAWASAKI
Hard Disk Drive (HDD)
2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI是一種下一級擴散爐,旨在適應基板處理和加工技術的最新進步。它既提供了過程的可重復性,又提高了生產效率,從而提高了設備的性能.憑借其先進的技術,TEL Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI能夠處理多種材料,包括金屬、陶瓷、半導體和復合材料。TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI配備了兩個先進的爐子,均采用垂直和水平對流。垂直爐由多軸系統驅動,該系統利用獨立驅動的輸送輥和旋轉執行器將晶圓移動到最佳擴散溫度。水平爐將晶片從任一端吸入加熱室,從而可以精確控制輻射和對流加熱。Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI爐標配了最先進的Peltier冷卻系統。它具有先進的圖像處理系統,可調節探針電流,使整個晶片的溫度均勻。TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI利用多點溫度探針可以測量整個晶圓的極高精度,並且可以在最多4個獨立的溫度區內操作。該爐也可以編程為執行預置溫度曲線的過程。此外,TEL Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI還附帶Active溫度控制軟件,使用戶能夠定義自己的加熱和冷卻曲線。該軟件配有自學算法,不斷提高數據的準確性和可重復性。該軟件還支持熔爐的自動錯誤處理,使工程師能夠快速調整或修復任何過程錯誤。TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI還配有一系列高級配件。這包括一個自動捕獲托架,它允許簡單的樣品處理和自動化的過程配方,以便快速設置。Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI還具有可編程的過程參數,如壓力、溫度和速度,以實現目標峰值性能。TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI是擴散爐的巔峰。它具有自動化控制和精密電子設備,提供可靠的性能和精確的測量,同時還易於設置和操作。憑借其全面的配件,它可用於應對廣泛的項目,使其成為重視卓越效率和質量的制造商的一項值得投資。
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