二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9296775 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一種用於生產半導體晶片的高分辨率微圖樣的蝕刻器/asher。TEL INDYPLUS設計用於將圖樣蝕刻到20 nm,具有出色的精度和可重復性,可實現精確的微圖樣傳輸。TOKYO ELECTRON INDY PLUS包含高度可控的特性,能夠控制蝕刻深度和圖樣大小。它能夠控制氣體供應、壓力、流量、蝕刻速率、漂洗和等離子體蝕刻模式等深度控制參數。用戶可以通過配方函數溫度平衡和調整蝕刻深度和圖樣大小，從而實現他們所需的微觀圖樣。此蝕刻器/asher還包括用於實時蝕刻/清洗時間和溫度監控的數字顯示器。INDYPLUS 蝕刻器/asher還提供集成排氣設備和先進的過濾系統，旨在確保最高安全性和運行性能。內置排氣過濾器有助於控制氣體排放、氣味和灰塵，同時防止有害物質泄漏。此外，用戶還有能力控制與排氣和傳熱有關的排氣單元參數。TOKYO ELECTRON Indy Plus附有一個內置的安全機器，可以防止酸性溶液的過壓和泄漏。安全工具還提供了對蝕刻參數更好的控制，使用戶可以輕松調整蝕刻深度、圖案大小和對比度。它還包括快速檢測氣體泄漏、漏水和停電的能力。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS Etcher/Asher是一款高效的生產工具,具有廣泛的功能和控制功能。此蝕刻器/洗衣機的設計符合工業和研究應用的需要,對於那些希望獲得最高安全性的精確結果的蝕刻器/洗衣機的用戶來說,它是理想的選擇。