二手 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6 / Alpha 8S/8SE #293658183 待售

TEL IW-6/Alpha 8S/8SE是一種擴散爐及其外圍部件。它主要用於電子工業中的半導體器件制造、光伏和光電子等應用。它旨在利用直流電或射頻等離子體源在受控環境中沈積、退火、氧化或蝕刻基板。IW-6/Alpha 8S/8SE由主腔室、控制器、支撐設備、電源和腔室壓力控制設備組成。主室采用不銹鋼合金制成，設計可承受高溫和氣體流動壓力。它具有易於使用的觸摸屏控制器,可以方便地操作和設置壓力、溫度和氣流等參數,以便於不同的應用。溫度範圍從室溫到高達1,200 °C，可加工面積為177mm，最大基板尺寸為350 x 250 mm。該爐的另一個特點是結合了工藝大氣調節和空氣淋浴系統.這包括一組閥門，這些閥門在不同的處理階段選擇和控制主室中的大氣。它還具有超高純度的A源，用於清除惰性氣體的腔室並保持清潔的工藝環境。此外,IW-6/Alpha 8S/8SE還配備了用於蝕刻和播種應用的射頻等離子體源。腔室壓力控制單元由自動儀表監控器和質量流量控制器組成，用於精確測量和控制主腔內的壓力範圍。此外，主室內部還安裝了眼部標記機，確保基板在加工前位置正確。IW-6/Alpha 8S/8SE是電子行業各種應用的可靠高效工具。它具有一系列安全和過程控制功能,可確保達到最佳性能。此外,它還獲得了CE的批準和TUV認證,讓用戶放心,他們的應用程序將不會出現任何問題。這個工具也是高度通用的，能夠執行各種過程，如沈積、退火、氧化和蝕刻。它易於安裝和使用,為用戶提供了快速的周轉時間,而無需等待復雜的工程安裝。因此，TOKYO ELECTRON IW-6/Alpha 8S/8SE是尋求高性能擴散爐和外圍元件的用戶的絕佳選擇。此工具提供了一系列功能和安全控制,使其成為各種電子行業應用的可靠而高效的工具。