二手 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6 #293764341 待售

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6是一種擴散爐及其相關配件，由日本的TEL有限公司（TOKYO ELECTRON）開發制造。它用於半導體、MEMS和數據存儲行業的熱氧化和反應性離子外延（RIE）等擴散過程。該爐采用單一加熱元件設計，最多可容納6英寸晶圓，最高溫度可達1100 °C。它提供了多種選擇，如用於熱氧化和RIE工藝的低溫套件（-50 °C至200 °C）、用於氧化和摻雜劑擴散的高溫套件（300 °C至1100 °C）以及HTL+頭和高頻等離子體發生器。低溫套件提供精確、均勻的溫度控制，循環時間短，可容納多達8個晶圓的0.6 「× 6」敏感器，最大功率輸出150瓦的高頻射頻發電機，以及一個特殊的陶瓷加熱器。高溫套件還提供精確、均勻的溫度控制，並配有陶瓷加熱器、高溫敏感器和改進的控制器。HTL+頭用於產生200°C至1000°C之間的非熱等離子體，並用於蝕刻過程。綜合環境監測系統對爐膛內的溫度和大氣進行精確控制。可以設置為執行溫度和大氣自動控制，以及過程控制。TEL IW-6是一種可靠、易於操作、成本效益高的擴散爐。它提供統一、精確的溫度控制，操作範圍廣，周期時間短。它非常適合用於半導體、MEMS和數據存儲行業的RIE、熱氧化和擴散過程。以其可靠的性能和高質量的輸出，該擴散爐是進行散裝基材加工的最佳解決方案之一。