二手 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6 #9159178 待售

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6是一種用於芯片加工和生產的擴散爐。該爐采用石英襯砌室和高精度溫度控制設備。TEL IW-6用途廣泛，因為它可用於氧化物應力去除、LDD（低介電擴散）、銅擴散、SiGe擴散等廣泛應用。TOKYO ELECTRON IW-6具有很高的可靠性,並通過其卓越的溫度控制系統保證了高可重復性.它具有兩個獨立的溫度控制器,一個是用於溫度設定點的可編程控制器,另一個是用於維持和調整實際溫度的PRDN比例積分導數（PID）控制器。這使得控制器極具響應性和準確性。擴散爐內裝石英襯裏，蓋子標配真空密封和不銹鋼重量。IW-6使用低壓（LP）技術形成可靠穩定的腔室壓力。此外，低壓技術不需要抽水裝置，因為真空是由爐內氣體反應形成的。TEL/TOKYO ELECTRON IW-6因其低功耗、壽命長的機器而環保。設計采用高溫防氧技術，防止爐火過熱，延長爐火壽命。此外，它還采用了一種再生氣體清除工具，可將凈化氣體的使用量減少多達30%。TEL IW-6支持各種外圍組件,如質量流量控制器、閥門、熱電偶和遠程監控單元。它還配備了VCM（真空控制器模塊）和PC接口單元，以增強靈活性和可靠性。總之，TOKYO ELECTRON IW-6是一種高精度擴散爐，配有石英襯裏的腔室、堅固的溫度控制資產以及其他各種部件。IW-6具有卓越的溫度控制和長壽命模型，是芯片生產過程中可靠、安全的選擇。