二手 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6 #9226342 待售

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6是一種擴散爐及附件，設計用於協助處理半導體晶圓。擴散爐采用二次區域設計，可改善熱均勻性和低熱梯度。它有一個附著有六個入口的氣體面板，用於在擴散過程中控制氣體的流動。該爐還具有溫度控制換線器和可選的自動負載鎖。該設備采用兩個雙元素加熱器和一個低熱梯度加熱室，以達到均勻的溫度分布。季加熱系統設計為降低熱梯度，配備1350 °C的最高溫度。還配有冷卻裝置，必要時可快速冷卻。擴散爐由基於MOSFET的坡道模塊供電，並使用易於使用的操作員界面進行控制。該爐包括一臺高精度的數據采集機，可用於測量擴散過程的進展。所采集的數據可供參考並用於持續改進。安全功能包括延遲供暖啟動和自動安全關閉,以防止過熱或溫度過高。該工具具有現代化的控制資產,具有遠程診斷功能。它還配備了在過程失敗時激活的故障安全保護模型。TEL IW-6擴散爐是一種可靠、高性能的半導體擴散裝置。它是許多半導體制造設施的首選工具。其溫度控制、安全功能和數據采集能力使其成為處理電子元件的絕佳選擇。