二手 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6 #9226343 待售

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6是為制造集成電路而設計的擴散爐及配件。它是半導體制造工藝中使用的一種先進工具，用於將材料沈積在矽晶片的裸露表面，產生均勻的塗層以增強電路特性。TEL IW-6是一種使用直接離子註入進行摻雜劑分布的擴散爐，一種將摻雜劑直接置於晶片表面而不是通過整個晶片擴散的離子註入形式。利用高溫腔室為晶圓表面輸送摻雜劑創造了理想的環境。TOKYO ELECTRON IW-6具有開放式配置，允許更均勻的摻雜，更好地控制單個摻雜劑的位置和深度。爐子配有長線烤箱、換熱器、感應加熱器等各種配件。長線烤箱加熱爐子的外部，而熱交換器在工作室內保持高溫。感應加熱器包含兩個線圈，產生一個電磁場來加熱烤箱內部。另外，爐子還裝有多條氣體管線，允許將不同的氣體註入室內。IW-6具有高度精確的摻雜過程。它具有一個PID控制器，可以精確控制工作室內的溫度，以及先進的計算機控制設備。該系統提供自動化和手動操作模式,使流程能夠快速高效地進行優化。此外，該爐配有真空測量單元，用於監測室內壓力，並確保獲得最佳效果。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON IW-6是一種可靠且用途廣泛的擴散爐和附件，非常適合集成電路的制造。它在溫度控制嚴密的情況下產生高精度的摻雜劑分布，並得益於其先進的計算機控制機器，使其成為半導體工業的強大工具。