二手 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6C #9148208 待售

TEL / TOKYO ELECTRON IW-6C
ID: 9148208
優質的: 2008
Vertical furnaces 2008 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON IW-6C是由領先的半導體制造商TEL(TOKYO ELECTRON)開發的擴散爐及配件。它設計用於先進的工藝技術,包括用於制造MEMS(微機電系統)、CMOS(互補金屬-氧化物半導體)和TFT(薄膜晶體管)元件的技術。TEL IW-6C擴散爐和附件由預熱段、主段和冷卻段組成。該爐額定在1200 °C的最高溫度下運行,絕緣和六區加熱元件在腔內保持溫度均勻。TOKYO ELECTRON IW 6C擴散爐具有創新的自動重新分區設備,有助於在烘烤過程中平衡烤箱內溫度。該系統自動運行,以連續轉換來自六個加熱元件的信號,向正在處理的晶片提供高效、均勻的傳熱。此外,其混合PID控制序列可確保設備在整個過程中的溫度穩定性保持在設定值的0.1%以內。TOKYO ELECTRON IW-6C由全鋁合金框架構成,其內部部件采用先進材料制成,如氧化鋁纖維和玻璃碳。該爐設有全鋁不銹鋼隔熱板、氣體分配機和便攜式板,有助於降低功耗,提高整個工具的熱均勻性。嵌入式觸摸面板可實現卓越的工藝性能。TEL IW 6C是模塊化設計,使用戶可以輕松升級資產,實現自動化能力和更好的效果。它有能力連接到一系列不同的反應堆系統,以提高性能、多功能性和生產率。該模型設計為在單相或雙相模式下運行,可以針對各種進程進行配置。除了擴散爐和附件外,TEL/TOKYO ELECTRON還為其客戶提供了廣泛的支持服務和附件,以幫助最大限度地提高其系統的生產力。其中包括培訓、服務和維護協議、消耗性部件和其他外圍設備組件。總體而言,IW-6C擴散爐和附件為用戶提供了滿足其先進工藝需求的最佳解決方案。先進的設計和創新功能使用戶能夠實現高水平的性能和生產力,同時降低運營成本。
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