二手 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6C #9280805 待售

TEL / TOKYO ELECTRON IW-6C
ID: 9280805
Chemical Vapor Deposition (CVD) furnace.
TEL/TOKYO ELECTRON IW-6C是一種最先進的擴散爐,用於金屬膜沈積在基板上。本產品廣泛應用,從表面改性到各行業的薄膜沈積。TEL IW-6C配有一個工藝室,其設計特別註重提供室內溫度和氣體流動的極好的均勻性。這使得它非常適合在基板上沈積均勻的金屬膜。TOKYO ELECTRON IW 6C兼備低壓化學氣相沈積(LPCVD)和高壓化學氣相沈積(HPCVD)技術。這允許用戶執行一系列進程,使其成為各種應用程序的理想選擇。為了進一步提高薄膜沈積的均勻性,IW6C具有高精度的流量控制閥。該閥用於控制過程氣體流動,以確保均勻的流量,這對於薄膜沈積是必不可少的。內裝的流動閥也很有用,因為它能確保氣體的準確濃度,並防止可能造成薄膜缺陷的雜質沈積。TEL/TOKYO ELECTRON IW 6C還有一個高效的機械泵,有助於提高吞吐量。這種泵能高效、快速地清除加工室內殘留氣體。這一過程保證了沈積過程的均勻發生,提高了原料的使用壽命。TOKYO ELECTRON IW-6C配有多個附件,可增強其性能和功能。這些附件包括自動加熱器控制系統和保護用戶免受直接輻射的自動安全快門。此外,IW-6C還包括一個高級軟件包,該軟件包便於完全參數控制,可用於自動數據記錄和分析。TEL IW6C非常適合金屬和其他材料薄膜在基板表面的可靠沈積。該產品非常適合廣泛的應用,具有良好的溫度、氣流和薄膜沈積均勻性,非常適合各種工藝。
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