二手 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6D #195915 待售

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D是一種先進的擴散爐及附件，專門為提供高精度等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）而設計。TEL IW-6D由專門的不銹鋼真空室和強大的等離子體源組成，具有靈活配置的陰極和氣體輸送系統。TOKYO ELECTRON IW-6D具有直徑2.6英寸、長12.5英寸的單晶石英管真空室。管腔由兩個半圓柱形通風鈦殼和兩個法蘭組成，每個法蘭有四個用O形環密封的銷釘。石英管導電，塗上純鋁，防止沿管壁電弧。此外，該管被雙層鋁塊包圍，並包含用於均勻熱循環優化的嵌入式加熱器。IW-6D裝有一個標準的射頻電源和一個手動可調節的模式，允許用戶為所需的等離子體處理精確地定制設置。該裝置在PECVD處理過程中提供了總計30千瓦的等離子體形成功率和三套18.6千瓦的PID溫度控制。電源的其他特點包括TEL-GENLOW III電源板、支撐桿結構、閉合的火炬電極和有源氫警報設備。TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D氣體輸送系統由一個4向氣體歧管和五個氣流控制器組成，使用戶能夠將廣泛的氣體放入等離子體處理中。歧管總容量300升/分鐘，可精確控制0至300 sccm之間的流量。該單元支持四種陶瓷工藝氣體的輸送，用於等離子體增強沈積過程。此外,TEL IW-6D為支持的流程應用程序提供了與一系列高級附件集成的機會。高端選項包括專用氣體冷卻器、自動氣體混合機、低溫冷卻工具、原位分子反應物資產和自動清洗模型。用戶還可以選擇將TOKYO ELECTRON IW-6D配置為臺式機遙控控制臺，允許從安全距離進行控制。這種重型先進的精密擴散爐及其附件證明可靠、堅固、用戶友好，是應用研究實驗室的理想選擇。IW-6D可直接控制單個單元中所有關鍵的等離子體處理參數,從而涵蓋廣泛的應用,包括CVD、PECVD、蝕刻、沈積等。加上定制TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D搭配一系列高級配件的選項，難怪這款產品備受追捧。