二手 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6D #293587891 待售

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D擴散爐是先進的半導體加工和器件制造的最先進的解決方案。TEL IW-6D能夠實現對加工區溫度和熱均勻性的精確控制。快速熱身和冷卻以及精確的溫度控制等功能使這種設備極為可靠和通用。TOKYO ELECTRON IW-6D有一個氮密封工藝室，專門設計用於使該室快速均勻加熱至1400 °C。優越的溫度性能保證了對溫度和NF擴散的精確控制，該爐還提供了快速的預熱和冷卻。采用兩速加熱等特性,IW-6D能夠實現精確的溫度分布.TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D能夠容納各種工藝配方，包括外延、擴散和熱氧化。用戶友好的GUI支持平穩的流程設置和操作。TEL IW-6D還配備了高質量的安全查看器和緊急開關，用於安全監控工序室。除了TOKYO ELECTRON IW-6D外，TEL還提供多種配件，用於各種材料的最佳加工。這些包括晶片、感光器和快門系統，以確保晶片冷卻過程的均勻性。IWT擴散爐還帶有有效的靜電卡盤，便於在制造過程中均勻安裝晶圓。作為一種先進的熱處理解決方案,IW-6D在保持可靠性的同時大大減小了設備尺寸。它的設計考慮到了最高的精確度和精確度,並提供了一個有效的解決方案,以最小的占用空間實現所需的結果。它的特性、溫度和配件使其成為任何制造工藝的理想選擇。