二手 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6D #293798920 待售

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D是為集成生產先進半導體器件而設計的擴散爐及相關配件。基本設備由擴散爐和控制器機櫃組成，為廣泛的先進生產需求提供了靈活性。擴散爐裝有工件轉移機器人，允許多個晶片並發轉移和處理。它支持各種單步和多步工藝配方，從而能夠在幾個步驟中生產廣泛的微電子器件。工件室包括一個熱壁區域和一個冷壁區域，獨立於工件溫度，設計為在整個腔室提供清潔、均勻的溫度分布，以獲得最佳的工藝性能。該系統的智能機器人允許快速晶圓傳輸和全自動過程序列控制.TEL IW-6D配備了最新的計算機輔助控制單元，用於過程優化和統一。它包括預置程序的內存,以及各種傳感器、警報、關機開關和故障安全機制,以實現高水平的操作安全性。此外，該爐還配備了氣流混合器、真空機和空氣冷卻工具，以確保氣體在整個工藝室內的有效分布。TOKYO ELECTRON IW-6D的最高溫度為2,000C，采用最新的金屬構造技術制造。它是真空密封的，可以承受擴散過程中使用的高溫。該資產還配備了高度可靠的水平單快門冷卻模式，精確控制，並結合安全的氮氣沖洗機構，在發生緊急情況時迅速關閉設備。擴散爐能夠處理不同的工藝配方，適合廣泛的擴散過程。易於使用的圖形用戶界面在設置過程參數方面具有極大的靈活性。控制系統還支持遠程操作和數據記錄功能,從而可以更好地控制流程並減少手動幹預的需要。IW-6D是一個先進的擴散爐和附件單元，提供優越和精確的性能。是集成生產先進半導體器件的理想選擇。