二手 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6D #293798922 待售

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D是專門為高性能擴散過程而設計的擴散爐及配件。200 mm x 300 mm垂直加熱器串有3個區域,可從頂部垂直調節,可同時對多達3個晶片進行統一的溫度控制。整個熔爐的低熱梯度能實現高質量的層層形成和低升華Cl速率，降低了TEL的熱發射特性IW-6D確保晶片在該過程中的高通量。TOKYO ELECTRON IW-6D配備了常見的過程模擬功能，包括可調節背壓、氣體純度、氣體分布、氣體流量和氣體壓力。氣體分析系統與IW-6D相結合，為在線流程審查和調整以及收集後離線流程分析提供實時分析。它有一個可調節的氣體入口旋流裝置，用於均勻的氣體分布，以及一個可調節的後壓調節器，用於優化過程控制。此外，TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D的設計采用可調節的坡道速率，允許在設定點之間進行快速溫度勘測，並通過冷卻區控制低速率關閉，防止晶圓通過多余的熱浸泡時間降解。它還通過使用多個H型加熱器提供均勻的熱梯度。所有這些功能都有助於實現TEL IW-6D的高質量和一流性能。TOKYO ELECTRON IW-6D還能夠在其工藝室中再現各種設計規則，並提供關鍵工藝的完全再現性。它的自動化過程控制器提供了以半導體行業所需的技術和可重復方式重現各種設計規則的能力。此外，IW-6D還配備了集成的石英視口和晶圓對準門，用戶可以檢查對準和驗證工藝條件。TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D還通過以太網監控服務提供多種流程和工具監控功能,以實現用戶站點的安全遠程服務和控制。此支持包括診斷、本地指示器顯示以及硬件和軟件監控。最後,TEL IW-6D具有安全互鎖和緊急關閉等安全功能。它的安全信息是可見的，並且可以在需要時順利操作。總之，TOKYO ELECTRON IW-6D是一種擴散爐及配件，設計為提供高通量、高質量的層形成和可重復的高性能工藝。配備了優越的工藝仿真功能、可調坡度、低熱梯度、氣體分析系統、自動化工藝控制器、集成石英視口，以及各種安全特性，可靠一致運行。它是需要特殊層形成和最高可重復性的應用程序的理想工具。