二手 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6D #293798924 待售

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D是TEL製造的擴散爐及配件。是一種高效、優質的半導體器件制造熱處理和擴散工藝爐。其溫度範圍為200 °C至1400 °C，可用於退火、粘結、SiGe沈積和穿透。采用TEL IW-6D空心陰極爐，高效平穩準確地進行高溫反應，使復雜的擴散過程系統能夠無縫處理。TOKYO ELECTRON IW-6D可以處理種類繁多的材料，例如矽、的和其他的CVD材料，以及氧化物和氮化物，適合小到大的生產運行。它的設計具有很高的適應性，允許廣泛的工藝參數和大氣控制。此外，它還有各種各樣的配件可用，如IW-6D背面壓板，可用於精確控制不同表面處理的樣品的加熱和擴散。TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D還具有多種增強安全性的功能,包括溫度警報、鎖定/緊急停止以及溫度控制。它還有一個獨特的氣體凈化系統來減少熔爐部件上的氧化物形成。它還配備了活躍的氮大氣控制系統，確保在加工過程中保持所需的大氣。TEL IW-6D是一種經濟高效的半導體器件制造和晶圓烘烤解決方案。它專為可靠性而設計,並提供多種功能,以提高安全性、準確性和效率。可用於各種應用，如退火、粘結、CVD沈積、晶圓烘烤等。它是處理困難和復雜過程系統的理想解決方案。