二手 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6D #9148336 待售

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D擴散爐是一種高效、精確的熱處理裝置，用於需要對矽片進行高精度擴散處理的應用。這種技術先進的擴散爐采用單級立式PECVD爐和獨特的兩級加熱設計，以實現高效的低壓工藝性能。它通過在擴散過程中不斷調整溫度曲線來操作，以減少不需要的蝕刻，並提供卓越的均勻性和生成速度。其設計精密的熱力學和可調的加熱器接近允許優秀的溫度控制和均勻性。TEL IW-6D擴散爐配有先進的超高純度門組件，設計考慮制造和關鍵任務的應用。這種有效的門系統可以裝有一系列組件，如氧氣噴射口、虛擬晶片和多個閥門，這些閥門帶有防背襯，便於大量使用和快速的過程切換。TOKYO ELECTRON IW-6D擴散爐還配備了實時控制系統，使技術人員能夠輕松快速地監控過程。該系統能夠控制擴散爐的數據，並根據客戶的要求整合各種預設配方。IW-6D擴散爐也具有極高的安全性和可靠性。它具有各種安全傳感器，如火災探測器和振動傳感器，這兩者都確保設備運行平穩。TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D擴散爐也受到保護，免受任何可能幹擾過程的內部或外部沖擊或振動。此外，TEL IW-6D擴散爐可以處理批量生產應用以及小規模晶圓加工和表面處理。該爐能夠處理直徑從200毫米到5英寸長的晶圓尺寸。TOKYO ELECTRON IW-6D擴散爐也能容納多種不同類型和大小的晶片，並借助該裝置提供的可互換晶片支架。IW-6D擴散爐提供了一個高效、精確的擴散過程，產生了良好的效果。其先進的技術和安全特性使其成為各種工業應用的理想選擇。這種擴散爐非常可靠、經濟高效，是任何需要矽片高精度擴散處理的人的理想選擇。