二手 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6D #9389914 待售

TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D是為半導體工藝技術而設計的最先進的擴散爐及配件。TEL IW-6D是一種使用熱氧化工藝將摻雜劑擴散到晶片中的爐。這一過程提高了半導體器件的電性能，也增加了它們對高、超高規模集成的適用性。TOKYO ELECTRON IW-6D具有由智能PID控制器控制的同位素氫環境，允許優化過程控制和可重復性。該爐還配備了快速冷卻技術，使得能夠在短短幾分鐘內完成工藝。而且，IW-6D有模塊化的設計，可以方便地針對不同的過程進行配置，例如CMP（Chemical Mechanical Planarization）。TEL/TOKYO ELECTRON IW-6D配備了幾個關鍵配件，以確保擴散過程盡可能準確、安全地進行。提供了一個自動閘閥，用於在冷卻或清洗過程中阻擋擴散室。該爐還配有一個用於將晶片安全地輸送到腔室的石英熔爐和一個可用於維持腔室內部溫度的陶瓷泵。該裝置還配備了安全特性，如氮氣凈化裝置，旨在保護長期過程不受汙染。此外,TEL IW-6D還配備了一個集成的緊急關閉開關,以增加安全性,以及一個外部供水/排水連接,用於在擴散後冷卻爐子。東京電子IW-6D是生產半導體器件所必需的器件.它的特點確保了準確和安全的擴散過程，其模塊化設計為各種應用提供了必要的靈活性。該裝置的不銹鋼結構和耐用部件使其成為可靠高效的擴散爐。