二手 TEL / TOKYO ELECTRON M560A #293597892 待售

TEL/TOKYO ELECTRON M560A是一種先進的半導體器件制造擴散爐及配件。這種創新的設備專為高性能、最高效率和最高溫度均勻性而設計，能夠對復雜的結構如納米線進行精確的測量。它由一個爐室和一組伴隨的附件組成，如真空/冷卻室、石英板、磁感器、晶圓架和壓力傳感器。爐房有兩節。上部容納加熱元件、熱電偶和一面鏡子，提供自上而下的輻射加熱，以增強溫度均勻性。下部由氣體入口、泵送單元和溫度傳感器組成。這使設備能夠精確測量和維護獨立的溫度設置，以及在密封環境中提供額外的熱控制。隨附配件采用石英制成，保證了較高的耐熱沖擊性和長期穩定性。石英板作為放置樣品的底座，而感受器則攜帶樣品穿過加熱區。晶圓座以其可調節的彈簧張力為晶圓提供了一個穩定的平臺。壓力傳感器有助於系統保持均勻氣體分布的最佳壓力。TEL M560A采用綜合加熱機制，自上而下和自下而上的輻射加熱相結合。有了這種優越的方法，設備可以在過程中提供前所未有的溫度均勻性，只需要一個電源設置就可以維持所需的水平。擴散爐還配備了內置的空氣冷卻機，在完成時提供樣品的快速冷卻。在安全方面，TOKYO ELECTRON M560A遵循嚴格的指導方針，以確保盡可能高的安全和操作標準。該工具提供各種安全聯鎖，以防止溫度過高，以及門控制，以防止意外操作。此外，創新的水冷資產可防止車型過熱，為用戶提供更多安全保障。總體而言，M560A是一種先進的擴散爐和輔助設備，為復雜的半導體器件制造任務提供卓越的溫度均勻性和控制性。該系統提供了無與倫比的準確性和可靠性，具有先進的安全特性和優越的加熱單元。此創新設備旨在提供最高性能水平,使制造商能夠產生最高質量的結果。